當(dāng)前位置：高純氣配管技術(shù)是高純氣供氣系統(tǒng)的緊張組成部分，也是能否將吻合要求的高純氣送到用氣點(diǎn)，并保證質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù)；所謂高純氣配管技術(shù)，包括體系的精確設(shè)計(jì)、管件和附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)檢測(cè)等。目前，以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)，對(duì)高純氣體純度和雜質(zhì)含量的要求越來(lái)越高，使得高純氣體管道技術(shù)越來(lái)越受到人們的關(guān)注和正視。下面就高純氣體傳送從選材到施工，驗(yàn)收，日常管理等方面做一個(gè)簡(jiǎn)單概述。
通俗氣體種類(lèi)
電子業(yè)中常見(jiàn)氣體的分類(lèi)
一樣平常氣體(Bulkgas)，又稱(chēng)大宗氣體，如氫(H2)、氮(N2)、氧(O2)、氬(A2)等；
特別氣體(特別氣體)重要有：SiH4PH3B2H6A8H3CLHCLCF4NH3POCL3SIH2CL2SIHCL3NH3BCL3SIF4CLF3COC2F6N2OF2HBRSF6等；
特種氣體的種類(lèi)一樣平?？煞譃椋焊g性、毒性、易燃、助燃、惰性等。半導(dǎo)體氣體一樣平常常用的種類(lèi)如下：
1.腐蝕性/毒性：HCl,BF3,WF6,HBr,SiH2Cl2,NH3,PH3,Cl2,BCl3…等；
2.可燃性：H2,CH4,SiH4,PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO…等；
③，助燃性能：氧氣，氫氣，N2O,NF3等。
④，惰性：N2,CF4,C2F6,C4F8,SF6,CO2,Ne,Kr,He…等；
很多半導(dǎo)體氣體對(duì)人體有害。尤其是其中一些氣體，如SiH4的自燃，只要一有走漏，就會(huì)與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應(yīng)，開(kāi)始燃燒；還有AsH3的毒性，任何細(xì)小的走漏都會(huì)導(dǎo)致生命傷害，這也是因?yàn)檫@些顯明的傷害，因此對(duì)體系設(shè)計(jì)的安全性要求尤其高。
自然氣的使用范圍
氣態(tài)產(chǎn)品是當(dāng)代工業(yè)的緊張基礎(chǔ)質(zhì)料，其應(yīng)用范圍特別很是廣泛，在冶金、鋼、石油、化工、機(jī)械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫(yī)療等行業(yè)中，經(jīng)常使用到大量的通俗氣體或特別氣體。自然氣的應(yīng)用，尤其是高新技術(shù)在這些領(lǐng)域的應(yīng)用具有緊張的意義，是其不可或缺的質(zhì)料氣或過(guò)程氣。同時(shí)，因?yàn)楦鞣N新興行業(yè)的需求和當(dāng)代科技的推動(dòng)，氣體工業(yè)產(chǎn)品在品種、質(zhì)量和數(shù)量上也有了長(zhǎng)足的發(fā)展。
氣態(tài)應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體工業(yè)。
在半導(dǎo)體系體例程中，氣體的使用一向起偏重要作用，尤其是半導(dǎo)體系體例程目前已被廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域，從傳統(tǒng)的ULSI、TFT-LCD到如今的微機(jī)電(MEMS)工業(yè)領(lǐng)域，均以所謂的半導(dǎo)體系體例程作為產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程，其中的生產(chǎn)過(guò)程包括干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等，都要使用大量的氣體，而氣體的純度對(duì)組件性能、產(chǎn)品良率有決定性的影響，而氣體供給的安全性關(guān)系到工人的健康和工廠操作的安全。
輸氣管道傳送高純氣體的意義。
煉鋼不銹鋼制材時(shí)，大約每噸能吸取200g的氣體。鋼絲經(jīng)過(guò)加工后，不僅外觀粘有各種污染物，而且在鋼絲的金屬格子內(nèi)還吸附著肯定數(shù)量的氣體。這部分被金屬吸取留下的氣體，在管道中有空氣流經(jīng)時(shí)，又重新進(jìn)入氣流，污染了純氣體。在管道內(nèi)氣流為間斷性流動(dòng)時(shí)，管子對(duì)所通過(guò)的氣體形成壓力，氣流制止通過(guò)時(shí)，管子對(duì)所吸附的氣體形成穩(wěn)壓解析，解析的氣體也作為雜質(zhì)進(jìn)入管子內(nèi)純凈氣體。與此同時(shí)，因?yàn)槲叫?、解析性等緣故原由，使管?nèi)外觀金屬產(chǎn)生肯定的粉末，這種金屬塵粒同樣會(huì)污染管內(nèi)的純凈氣體。管道的這種特征是特別很是緊張的，為了保證所傳送氣體的純凈度，不僅要求管道內(nèi)外觀有極高的光滑度，而且還要求其具有高的耐磨性。
對(duì)于具有較強(qiáng)腐蝕性的氣體，肯定選擇耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管會(huì)因腐蝕在其外觀產(chǎn)生腐蝕斑，緊張時(shí)會(huì)出現(xiàn)大面積的金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。
高純、高潔凈、大流量氣體傳送管道的連接，原則上都是焊接工藝的，所要求的管子，在施焊時(shí)組織不會(huì)改變。含碳量過(guò)高的材料在焊接工藝時(shí)，受焊接工藝部位透氣性的影響，使管子內(nèi)部和管外的氣體互相滲透，破壞了傳送氣體的純凈度、干燥度和潔凈度，使我們所有的努力都失去意義。
總之，對(duì)于高純氣體和特別氣體傳送管道，肯定采用特別處理的高純不銹鋼管，以使高純氣體傳送體系(包括管道、管件、閥門(mén)、VMB、VMP)成為高純氣體傳送的關(guān)鍵義務(wù)。
輸配管凈化技術(shù)的一樣平常概念
高純凈、潔凈的氣體傳送配管，是指對(duì)氣體傳送“三度”有肯定要求或控制。氣純度：雜質(zhì)氣氛在氣體中的含量，通常以氣純度百分之99.9999%透露表現(xiàn)，雜質(zhì)氣氛含量的體積比值ppm,ppb,ppt透露表現(xiàn)；
干性：氣體中的痕量水分，或稱(chēng)為濕量，通常用露點(diǎn)來(lái)透露表現(xiàn)，露點(diǎn)-70℃通常被壓扁。
純凈度：指氣體中含有污染物顆粒的數(shù)量，顆粒的粒徑為μm，用多少粒/M3來(lái)透露表現(xiàn)，對(duì)于壓縮空氣來(lái)說(shuō)，通常也用不可避免的固體殘留物的mg/m3來(lái)透露表現(xiàn)，它包含了含油物質(zhì)。
高純供氣體系傳送原則。
悉數(shù)高純度、高清潔度的氣體都必要通過(guò)管道輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝要求的氣體質(zhì)量，在有肯定氣體出口指標(biāo)的情況下，更必要正視配管體系的選材和施工質(zhì)量。除了依靠于制氣或凈化設(shè)備的度外，還受到管道體系諸多因素的影響，因此，管道的選擇應(yīng)遵循相干行業(yè)的原則，并在圖紙中說(shuō)明管道的材質(zhì)。
管道材料的選擇取決于使用的必要，若用于制程的反應(yīng)氣體，則選用316LEP高質(zhì)量的管子，經(jīng)電解拋光處理，耐腐蝕，外觀粗糙度低，Rmax(maximumpeaktovalleyheight)在大約0.3μm以下，而Rmax(maximumpeaktovalleyheight)在經(jīng)過(guò)光輝燒結(jié)處理的316LBA管中，其值遠(yuǎn)低于0.8μm，由于平整度越高，越不易形成微渦流，從而使污染顆粒被帶出。在316LBA管中，通常用來(lái)與芯片接觸而不參與制程反應(yīng)的氣體，例如GN2,CDA。管道內(nèi)部外觀粗糙度是管道質(zhì)量的緊張指標(biāo)。粗糙度越低，顆粒的攜帶能力就越低。另外一個(gè)未經(jīng)分外處理的AP管(Annealing&Picking)，被用在兩個(gè)不用作供氣管道的套外管上。
當(dāng)前國(guó)內(nèi)潔凈管路可參照的標(biāo)準(zhǔn)較少，一樣平常我們除參考《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》《氫氧站設(shè)計(jì)規(guī)范》《壓縮空氣設(shè)計(jì)規(guī)范》等行業(yè)技術(shù)和工業(yè)技術(shù)規(guī)范外，選用本行業(yè)常用的材料和配料。
